Японская высокотехнологичная (Шанхайская) международная торговая компания с ограниченной ответственностью
Домой> >Продукты> >Электронный микроскоп серии Regulus
Электронный микроскоп серии Regulus
Существующие модели SU8240, SU8230, SU8220 и SU8010 были реинтегрированы в Regulus 8240, Regulus 8230, Regulus 8220 и Regulus 8100. Серия Regulus насл
Подробная информация о продукции

Электронный микроскоп серии Regulus

  • Консультации
  • Печать

超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

Существующие модели SU8240, SU8230, SU8220 и SU8010 были реинтегрированы в Regulus 8240, Regulus 8230, Regulus 8220 и Regulus 8100.

Серия Regulus наследует наблюдательные и аналитические характеристики существующих моделей, оснащенных малошумными электронными пушками с холодным полем SU8200* 1.Можно получить высокостабильный поток пучка.

Оптимизируя электронно - оптическую систему, Regulus 8240 / 8230 / 8220 повышает разрешение до 0,7 нм при 1 кВ, а Regulus 8100 - до 0,8 нм.

Кроме того, чтобы в полной мере использовать возможности сверхвысокого разрешения, увеличение также увеличилось с 1 миллиона раз в прошлом до 2 миллионов раз* 1.А.
В Regulus 8240 / 8230 / 8220 / 8100 также улучшена функция поддержки пользователей, которая облегчает понимание принципов обнаружения сложных сигналов и помогает пользователям в полной мере использовать оптимальную производительность прибора.

* 1.
Только Regulus 8240 / 8230 / 8220

  • Особенности

  • Спецификация

Особенности

  • Электронные пушки для стрельбы из холодильных установок серии SU8200* 2.
  • Использование стабильных областей высокой яркости, появляющихся в электронном луче после Flashing, в качестве интервала для стабильного наблюдения, что позволяет сочетать оптимальную производительность наблюдения и анализа с высоким разрешением в условиях низкого напряжения ускорения
    (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
  • Использование небольших, высоковакуумных хранилищ для проб загрязняющих веществ
  • Используя энергетический фильтр (выбор), можно наблюдать контраст нескольких компонентов* 2.

наблюдение с высоким разрешением при очень низком посадочном напряжении

极低着陆电压下高分辨观察
Образец: частицы золота
Посадочное напряжение: 10 В

наблюдение с очень высоким разрешением

超高分辨观察
Образец: катализатор Pt
Ускорительное напряжение: 30 кВ

Анализ EDX с высоким разрешением при низком напряжении ускорения

低加速电压下高分辨EDX分析
Образец: Sn Шар
Посадочное напряжение: 1,5 кВ

* 2.
Только Regulus 8240 / 8230 / 8220

Спецификация

Проекты Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240
Квадратное электронное разрешение 0.7 nm
(Ускоряющее напряжение 15 кВ)
0.8 nm
(Посадочное напряжение 1 кВ)* 3.
0,6 нм (напряжение ускорения 15 кВ)
0,7 нм (посадочное напряжение 1 кВ)* 3.
Посадочное напряжение 0.1~2 kV 0.01~20 kV
Увеличение В 20 - 1 миллион раз.* 4. В 20 - 2000 тысяч раз.* 4.
Стол для образцов Управление стендом для образцов 3 - осевая моторная станция (необязательно 5 - осевая) Двигатель с 5 осями
Переместить область X 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~110 mm
Y 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~80 mm
R 360°
T - 5 - 70 °
Z 1.5~30 mm 1.5~40 mm
воспроизводимость - Да. - Да. - Да. ±0,5 мкм Содержит ±0,5 мкм
* 3.
Наблюдение в режиме замедления
* 4.
Удельный вес по негативу 127 × 95 мм

Классификация ассоциированных продуктов

  • Система фокусированных ионных пучков (FIB / FIB - SEM)
  • Устройства для предварительной обработки образцов TEM / SEM
Онлайн - запросы
  • Контактные лица
  • Компания
  • Телефон
  • Электронная почта
  • Микросхема
  • Код проверки
  • Содержание сообщения

Операция удалась!

Операция удалась!

Операция удалась!