Электронный микроскоп серии Regulus
Существующие модели SU8240, SU8230, SU8220 и SU8010 были реинтегрированы в Regulus 8240, Regulus 8230, Regulus 8220 и Regulus 8100.
Серия Regulus наследует наблюдательные и аналитические характеристики существующих моделей, оснащенных малошумными электронными пушками с холодным полем SU8200* 1.Можно получить высокостабильный поток пучка.
Оптимизируя электронно - оптическую систему, Regulus 8240 / 8230 / 8220 повышает разрешение до 0,7 нм при 1 кВ, а Regulus 8100 - до 0,8 нм.
Кроме того, чтобы в полной мере использовать возможности сверхвысокого разрешения, увеличение также увеличилось с 1 миллиона раз в прошлом до 2 миллионов раз* 1.А.
В Regulus 8240 / 8230 / 8220 / 8100 также улучшена функция поддержки пользователей, которая облегчает понимание принципов обнаружения сложных сигналов и помогает пользователям в полной мере использовать оптимальную производительность прибора.
- * 1.
- Только Regulus 8240 / 8230 / 8220
-
Особенности
-
Спецификация
Особенности
- Электронные пушки для стрельбы из холодильных установок серии SU8200* 2.
- Использование стабильных областей высокой яркости, появляющихся в электронном луче после Flashing, в качестве интервала для стабильного наблюдения, что позволяет сочетать оптимальную производительность наблюдения и анализа с высоким разрешением в условиях низкого напряжения ускорения
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - Использование небольших, высоковакуумных хранилищ для проб загрязняющих веществ
- Используя энергетический фильтр (выбор), можно наблюдать контраст нескольких компонентов* 2.
наблюдение с высоким разрешением при очень низком посадочном напряжении
Образец: частицы золота
Посадочное напряжение: 10 В
наблюдение с очень высоким разрешением
Образец: катализатор Pt
Ускорительное напряжение: 30 кВ
Анализ EDX с высоким разрешением при низком напряжении ускорения
Образец: Sn Шар
Посадочное напряжение: 1,5 кВ
- * 2.
- Только Regulus 8240 / 8230 / 8220
Спецификация
Проекты | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Квадратное электронное разрешение | 0.7 nm (Ускоряющее напряжение 15 кВ) 0.8 nm (Посадочное напряжение 1 кВ)* 3. |
0,6 нм (напряжение ускорения 15 кВ) 0,7 нм (посадочное напряжение 1 кВ)* 3. |
|||||
Посадочное напряжение | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV | |||||
Увеличение | В 20 - 1 миллион раз.* 4. | В 20 - 2000 тысяч раз.* 4. | |||||
Стол для образцов | Управление стендом для образцов | 3 - осевая моторная станция (необязательно 5 - осевая) | Двигатель с 5 осями | ||||
Переместить область | X | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~110 mm | ||
Y | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~80 mm | |||
R | 360° | ||||||
T | - 5 - 70 ° | ||||||
Z | 1.5~30 mm | 1.5~40 mm | |||||
воспроизводимость | - Да. | - Да. | - Да. | ±0,5 мкм Содержит ±0,5 мкм |
- * 3.
- Наблюдение в режиме замедления
- * 4.
- Удельный вес по негативу 127 × 95 мм
Классификация ассоциированных продуктов
- Система фокусированных ионных пучков (FIB / FIB - SEM)
- Устройства для предварительной обработки образцов TEM / SEM