Система PECVD OTL - PECVD 1200 - 1400 - 1200 с трехтемпературной зоной, состоящая из трех трубчатых печей скользящего типа, кварцевой вакуумной камеры, радиочастотного источника питания, системы подачи газа GX, системы вакуумных измерений, механизма электрического привода.

Основные особенности:

Газ в кварцевом вакууме преобразуется в ионное состояние с помощью радиочастотного источника питания.

Температура, необходимая для химического осаждения в газовой фазе, ниже, чем у обычного CVD

Размер напряжения осажденной пленки можно контролировать с помощью частоты радиочастотного питания

Скорость химического осаждения в газовой фазе PECVD выше, чем у обычного CVD, хорошая однородность, высокая согласованность и стабильность.

5 Широко используется для: роста различных тонких пленок, таких как: SiOx, SiNx, SiOxNy и неструктурированный кремний (a - Si: H) и так далее.

Эта трехтемпературная система PECVD представляет собой систему PECVD, способную быстро нагреваться и охлаждаться, и представляет собой пару электрических слайдов, установленных в трех трубчатых печах с электрической скользящей системой. Скорость нагрева и охлаждения до 100 °C / мин. Для достижения максимально быстрого нагрева можно предварительно разогреть печь до заданной температуры, а затем переместить плиту на сортПоместить. Чтобы получить максимально быстрое охлаждение, печь можно переместить на другой конец после нагрева образца. Скорость нагрева и охлаждения может быть достигнута в вакууме или инертном газе.10°C / s - недорогая система PECVD с двойной температурой быстрого нагрева и охлаждения.

Эта трехтемпературная система PECVD использует шведскую проволоку сопротивления Kanthal и силиконовый углеродный стержень в качестве нагревательного элемента, использует двухслойную конструкцию корпуса и 30 - сегментный программный термостат, запускает фазовое смещение, управляет кремнием, печь использует японский импортный поликристаллический волокнистый материал из оксида алюминия, оба конца трубы запечатаны фланцем из нержавеющей стали, на фланце из нержавеющей стали установлены газовые сопла, клапаныИ манометр, вакуум при вакууме может достигать 10 - 3 Па, разделен на две зоны температуры, две зоны температуры могут независимо контролировать, устанавливать разные температуры, удобно использовать, простая работа, печь имеет преимущества равновесия температурного поля, низкой температуры поверхности, скорости подъема и падения температуры, энергосбережения и т. Д., Это университеты, научно - исследовательские институты, промышленные и горнодобывающие предприятия делают высокотемпературную атмосферу для сжигания Узел, рост графена, рост различных пленок идеальный продукт.

(1) Ширина горячего конца кремниевого углеродного стержня d составляет 14 мм, средний производитель использует 12 мм, толщина нагревательного конца, нелегко изгибаться, поверхностная нагрузка стержня низкая, срок службы длинный.

（2) Длина холодного конца m составляет 210 мм, средний производитель использует 180 мм, температура длинной крыши холодного конца низкая.

(3) Оксидная аморфная пленка на поверхности кремниевого углеродного стержня является плотной и может лучше защищать углеродные стержни.

При перенапряжении или утечке электрической цепи пустые сеансы автоматически отключаются

Атмосферная трубчатая печьАКомпьютер с интерфейсом связи и программным обеспечением, который контролирует параметры печи непосредственно с помощью компьютера и может наблюдать с компьютера значения температуры PV и SV на печи и работу приборов, фактическую кривую нагрева печи компьютер будет рисовать в режиме реального времени и может хранить данные о температуре в каждый момент времени и может быть настроен в любое время

(1) Высококачественная печь из поликристаллического волокна с высоким содержанием чистого оксида алюминия, изготовленная из вакуумного всасывающего фильтра.
(2) Формирование с использованием японской технологии.
(3) Низкая теплоёмкость материала печи, низкий коэффициент теплопроводности, так что меньше теплоотдачи, хорошая теплоизоляция, высокая отражательная способность. Равновесие температурного поля.
(4) Тонкая и длинная нитка из оксида алюминия в камере, высокая термостойкость, сильная термостойкость к нагреванию и охлаждению
(5) Поверхность печи чистая, нелегко сбрасывать порошок.

(Все импортные электроприборы, сертифицированные UL)