прибор контроля толщины мембраны- Больше глобальных

Чжэнчжоуский высокотехнологичный район, улица Цзиньлан, Чжэнчжоу, новый город науки и техники, 5 - й этаж, 4 - й этаж 401

Подробная информация:

прибор контроля толщины мембраны

Технические характеристики:

1. Работа с полным сенсорным экраном, простая и простая в использовании;

2.32Одна мембранная система, каждая мембранная система50 / 100Автоматическое покрытие слоями;

3. 12вход дорожных сигналов/ 12Выход дорожных переключателей;

4. Предоставление полностью автоматического, полуавтоматического, ручного режима управления*

5.Контролируемый2Один источник, один набор работы, другой набор предварительного растворения;

Технические параметры

	Контроллер CY - FDC - S
Частота кристаллических колебаний	6 МГц (дополнительный кристалл 2.5M 3M 5M 9M)
Режим отображения	5 "Цветной сенсорный экран + цифровая трубка показывает скорость и реальную толщину
Режим работы	Сенсорный экран
Конечная толщина	00 мк0000а - 99 мк9999 а
Разрешение отображения толщины	1А/s
Скоростное разрешение	0.1А/s
Количество слоев покрытия	32 мембранная система, 50 / 100 слоев на мембранную систему;
Количество зондов	A B
Инструментальный фактор	0.01 - 99.99
Показать время	00:00:00-23:59:59 H:M:S
индикация мощности	0 - 99,9%
мощность предварительного плавления	0 - 99%
мощность предварительного покрытия	0 - 99,9%
Время предварительного расплавления / время предварительного покрытия	0～99:99 m:s
Время предварительного плавления Время предварительного обогрева	0～99:99 m:s
Скорость покрытия (заданная скорость)	0 - 999,9 а / с
Хранение материалов	257 + Настройка 10
Информирование	RS232/RS485
управляемый источник испарения	Два, один набор работы, другой предварительный раствор.
Управление выходом	± 10V / 5V / 2.5V
I / Интерфейс	Ввод сигнала 12 каналов / выход выключателя 12 каналов
Количество контролируемых тигелей	1 - 16 шт.
Отображение покрытия	Кривая / значение скорости
Количество поездок с покрытием	Автоматизация 50 / 100 слоев на мембранную систему
Размер корпуса	480×280×89 мм (корпус 2U 19)

Специальные функции:

1Ручной, полуавтоматический, автоматический3Вид режима покрытия для удовлетворения различных конфигураций машины покрытия;

2Искусственное прекращение покрытия: искусственное прекращение покрытия в процессе покрытия;

3Ручное управление: определение технологических требований к первоначальному покрытию;

4Система прерывания мембраны: в автоматическом и полуавтоматическом покрытии обнаруживается проблема или неисправность, может остановить покрытие и может автоматически сохранить текущее состояние, после отказа * *, может продолжить покрытие из системы прерывания;

5При автоматическом или полуавтоматическом покрытии, если кристаллическая вибрация не работает, можно выбрать нажатие на прекращение покрытия, покрытие по текущему времени мощности, переключение продолжения чипа (многочиповый зонд);

6Два источника предварительно расплавлены одновременно: в начале текущего покрытия можно выбрать одновременно первый2Слои предварительно расплавлены для удовлетворения потребностей во времени в случае стресса;

7Защита паролем: функция защиты паролем параметров мембранной системы и мембраны, защита технологических параметров от изменения непроизводственным персоналом;

8Регистрация данных о покрытии: при автоматическом или полуавтоматическом покрытии система может записывать время образования пленки для каждого слоя, * параметры конечной скорости толщины.